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            光學輪廓儀測量表面粗糙度的儀器

            簡要描述:中圖儀器SuperViewW1光學輪廓儀測量表面粗糙度的儀器采用了掃描模塊和內部抗振設計,可實現高測量精度重復性和高粗糙度RMS重復性。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。

            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2024-03-06
            • 訪  問  量:53

            詳細介紹

            品牌中圖儀器產地國產
            加工定制

            產品簡介

            中圖儀器SuperViewW1光學輪廓儀測量表面粗糙度的儀器采用了掃描模塊和內部抗振設計,可實現高測量精度重復性和高粗糙度RMS重復性。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。

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            SuperViewW1光學輪廓儀測量表面粗糙度的儀器可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。


            產品功能

            (1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

            (2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

            (3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;

            (4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;

            (5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

            (6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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            應用領域

            對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

            應用范例:

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            部分技術指標

            型號

            W1

            光源白光LED
            影像系統1024×1024
            干涉物鏡

            標配:10×

            選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

            光學ZOOM

            標配:0.5×

            選配:0.375×、0.75×、1×

            標準視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×)


            XY位移平臺

            尺寸
            320×200㎜
            移動范圍140×100㎜
            負載10kg
            控制方式電動
            Z軸聚焦行程100㎜
            控制方式電動
            臺階測量
            可測樣品反射率0.05%~100
            主機尺寸700×606×920㎜
            懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

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