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            高精密激光干涉測量儀

            簡要描述:中圖儀器SJ6000高精密激光干涉測量儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,集光、機、電、計算機等技術于一體,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2024-03-06
            • 訪  問  量:64

            詳細介紹

            品牌中圖儀器產地國產
            加工定制

            中圖儀器SJ6000高精密激光干涉測量儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,集光、機、電、計算機等技術于一體,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

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            在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。


            產品功能

            (1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

            (2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

            (3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;

            (4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

            (5)具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

            (6)支持手動或自動進行環境補償。

            測量垂直度.jpg

            產品配置

            SJ6000高精密激光干涉測量儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

            主要鏡組圖800.jpg

            主要鏡組圖

            其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。

            線性測量配置及使用方法

            線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機、EC20環境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態測量軟件等組件構成,可滿足0~80m范圍內的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

            線性測量應用

            SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

            線性測量應用.jpg


            測量軟件

            (1)友好的人機界面;

            (2)豐富的應用功能模塊;

            (3)向導式的操作流程;

            (4)簡潔化的記錄管理;

            (5)支持中文、英文和俄文界面;

            (6)支持企業專屬模板定制。

            應用場景.jpg

            部分技術指標

            主機

            穩頻精度:0.05ppm

            動態采集頻率:50 kHz

            預熱時間:≤ 6分鐘

            工作溫度范圍:(0~40)℃

            存儲溫度范圍:(-20~70)℃

            環境濕度:(0~95)%RH


            環境補償單元

            空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

            材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

            空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH

            大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa


            線性測量距離:(0~80)m (無需遠距離線性附件)

            角度測量范圍:±10°

            平面度測量范圍:±1.5mm

            直線度測量范圍:±3mm

            垂直度測量范圍:±3/M mm/m


            便攜箱尺寸:613*460*230mm

            標準配置重量:18kg

            懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

            如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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            深圳市中圖儀器股份有限公司
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