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            半導體量測領域新增量測設備!中圖儀器無圖晶圓幾何量測系統正式發布
            2024-02-29

            在晶圓制造前道過程的不同工藝階段點,往往需要對wafer進行厚度(THK)、翹曲度(Warp)、膜厚、關鍵尺寸(CD)、套刻(Overlay)精度等量測,以及缺陷檢測等;用于檢測每一步工藝后wafer加工參數是否達到設計標準,以及缺陷閾值下...

            • 2015-12-16

              現代社會對產品的品質要求越來越高,越來越趨于精細化,這對檢測、測量設備也提出了更高的要求。普通百分表和千分表已不能滿足精密工件(如模具、精密零部件等)的測量需求,中國機械制造需要更高精度的測量設備。中圖SJ207高度計滿足測量市場的需求,此...

            • 2015-12-16

              2000年之前,全自動指示表檢定儀還是國外產品的天下,高昂的價格令多少國內用戶望卻步!2000年,中國*臺全自動指示表由中圖儀器董事長馬俊杰研發面市,從此這種局面被打破。十多年來,其先進、穩定的特質深受廣大用戶信賴,值此國慶之際,我們也來檢...

            • 2015-12-03

              現代激光干涉技術是在人類關于光學的幾乎全部知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比,具有一些*的性質:單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量,廣泛應用于各領域,已...

            • 2015-12-03

              11月23日至27日,2015年全國幾何量長度計量技術委員會年會暨國家計量技術法規審定會議在深圳召開。來自國家院、中測院、102所、304所、各省市計量院等近70多名專家委員參加了此次會議。會議回顧了2015年工作情況,討論通過2016年年...

            • 2015-12-03

              近日,我國自主研制的C919大型客機下線,這是中國自主研制大飛機的里程碑,也是中國制造業的突破性進展!產業發展和升級使得微電子、微機械、光學和現代超精密加工工業對檢測精度的要求越來越高,同時要求更大的檢測量程,而其他檢測方法難以勝任,只有激...

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